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713 搞出光刻机挺直腰杆子(4k)(3/4)

端光刻机市场,先干翻了小霓虹!

“所以啊,尹教授,我知道你很急,但你先别急,ri会有的,也会有的!”

陆飞环顾四周,激励士气。

“陆总!”

尹志尧郑重地点了下头,他作为中微半导体的领军人,非常清楚逻辑是两条腿走路,既跟微电子为首的单位合作ri光刻机,又跟长春光机为主的科研所研究光刻机。

而且满世界找帮手,比如徕卡。

“老孙,这次的奖励方案做出来了嘛?”

陆飞侧目望向孙红军。

“已经拟出个初步方案,就等您来定。”

孙红军应了一声。

“嗯,但凡这次参与光刻机项目的,哪怕是拧了个螺丝的,也要多发奖金!”

陆飞双手叉腰,“65n有了,还怕没有ri?没有?接下来我们就向32n、28n,甚至28n以下的发起冲击,不管是10年、20年,还是多长时间,也要搞出来!把这颗工业明珠给我摘下来,当弹珠卖!”

“我就是怕耽误了先进制程工艺的进程,毕竟我们买不到最先进的光刻机。”

尹志尧脸上露出一丝愧疚。

“梁博士,你的意思呢?”

陆飞把目光投向梁孟松。

“陆总放心,难度肯定是有的,但我可以保证,32n,今年下半年就能风险性试产。”

梁孟松话锋一转,说出难题。

芯片代工制造的过程非常复杂,需要多方面的技术和设备支持,就像14n是个关键的分界线,28n也是个关键的分界线。

但设备还不是他最担心的,他最担心的是中芯被台积电打倒之后,下一个就轮到逻辑。

“这种情况我不是没有考虑。”

陆飞摆了摆手:“所以才把逻辑、澎拜的三分之一的产能放在台积电,就是让章忠谋顾虑,既想对付我们,又怕失去我们的订单。”

“可按我对章忠谋的了解,肯定不会善罢甘休。”梁孟松忧心道,“另外还有三星……”

陆飞笑道:“梁博士,三星现在的技术负责人还是蒋尚义,哪怕拿到了光刻机,你觉得他有这个能力带领三星冲击制程吗?”

“没有!”

梁孟松想也不想,“没这个可能!”

“对嘛,就连40/45n工艺,三星还是靠我们,很难说不会又在一个节点上卡住,难以突破。”陆飞严肃说,“这么一比,台积电才是我们最大的敌人!不管现在,还是将来!”

“台积电那边计划今年过渡到32n,然后最早在明年转向28n,我们的进度并不比台积电慢。”梁孟松自信满满。

“梁博士,假如,我是说假如,假如没有最先进的代工厂给逻辑造芯片,假如逻辑还造不出比较先进的光刻机,假如……”

陆飞把前世华为遭到的打压说了一遍。

“陆总,这种极限施压情况下,也不是没有办法,可以考虑多重曝光技术。”

梁孟松沉吟片刻,一一列出优缺点。

尤其是缺点,虽然经过多重曝光工艺,可以改变光刻机的制程极限,但良品率低。

而且每次曝光都需要校准,而对准误差会在多次曝光中积累,进而影响芯片的质量。

“除了损耗,就是成本,多次曝光需要更多的光刻胶、耗材和设备,这个投入可能……”

不等梁孟松往下说,孙红军突然打断。

陆飞和他相视一笑,光刻机的光刻胶等材料,早就纳入备胎计划。

“梁博士、尹教授,我们已经投资了博康化学等十几家公司,研发攻克光刻胶这些重要材料。”孙红军笑说,“而且找了德国的
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