713 搞出光刻机挺直腰杆子（4k）（2/4）
“搞出光刻机，挺直腰杆子！”
“陆总，这就是我们自主研发的65nr干式光刻机，由逻辑、沪市微电子、长春光机、华为等多家单位、上千家供应商联合攻克，下一步就是预生产，在生产中不断改进完善，然后逐步实现量产化。”
孙红军兴奋至极，“预计一到两年，就能全部替代掉和尼康的65n光刻机。”
“还是自己的机器香啊！”
陆飞透过玻璃，看着工作人员有条不紊地操作，余光里注意到尹志尧等人的情绪很不对劲，“这么难得的好日子，你们怎么看上去不是很高兴啊，难道是光刻机还有什么质量上的问题，或者技术上的缺陷？”
“陆总，设备没有问题，技术也没有问题，就是……就是有一个坏消息……”
尹志尧一脸为难。
“什么坏消息？”
陆飞鼓励道：“没关系，说出来，不说出来，我们又怎么想办法解决呢？”
“陆总，研发出了全球第一台光刻机，已经送到三星的研究机构预生产。”
尹志尧无奈地叹了口气。
“你看你，又急。”
陆飞挑了挑眉，倍感意外，这么凑巧！
光刻机的出现，相当于光刻机技术和设备正式发展到第五代，遥遥领先于他们。
第一代光刻机是以436n的g-le汞灯光源为主，只适用于5μ以上制程。
之后出现了365n的i-le汞灯光源的第二代光刻机，制程精度来到了350到500n。
这两代都只能算是接近式光刻机，到了第三代扫描投影式光刻机，才实现了跨越式的突破，把最小工艺推进至150到250n。
他们生产的65nr干式光刻机，算是第四代，也就是步进式投影式光刻机，制程工艺最高可以推进到65n，想要更上一层——
就得用到浸入技术，也就是让镜头和硅片之间的空间浸泡于液体之中，在此基础上，就有了四代半的浸入步进式投影式光刻机。
本来，逻辑跟这些国际一线的光刻机厂商，就只剩ri这么个半代差距。
但光刻机一出现，又把这个差距拉到了至少5代，而且这个技术差距，不像制程工艺那么好追，是整个产业链的全面落后。
“不是我急，陆总，一旦预生产成功的话，英特尔、三星、台积电也许不出三五年，就能得到光刻机的生产线……”
尹志尧话里无不透着焦虑。
“尹教授，这台，、三星、英特尔、蔡司、台积电它们花了多久才研制出来？”陆飞透过面罩的玻璃，直直看去。
“从林本坚提出浸润式微影技术的理论，到现在，大概十三、十四年。”
梁孟松站出来回答。
“对嘛，这不就结了。”
陆飞拍了拍尹志尧的肩膀，“集欧美日韩这么多全球最顶尖的半导体公司和人才，也要花13年的时间，何况是我们呢！”
“陆总说的没毛病！”
孙红军机敏地当捧哏。
“咱们研究起步晚，技术经验积累少，人才还不够不精，再加上特么的技术封锁，能在这么短的时间，攻克65nr干式光刻机，就已经很不正常了，再快就该拍科幻片了。”
陆飞笑道：“落后不可怕，可怕的是不追赶，你看我们现在，已经步入正轨了。”
“可不是嘛，快赶上小霓虹了！”
孙红军嘿然一笑。
就像霓虹在新能源上梭哈错了氢能，在光刻机路线上，不去梭哈湿刻法，而是全力押注干刻法，却失败了，白白耗费人力财力时间。
今后，逻辑的光刻机就可以跟尼康、佳能竞争低
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